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CMI洁净室气溶胶分级采样器

无尘室、显微分析、分级采样

MPS-4G1

MPS-4G1直接为扫描电镜SEM和能量色散X射线光谱分析EDXS采集样品,可判断颗粒物成分和来源。

MPS-3

洁净室颗粒物纤维分析分级采样器(MPS-3)专为扫描电镜SEM、能量色散X射线光谱分析EDXS和其他显微分析技术采集样品而设计的。采样器拥有嵌入撞击级的标准电子显微采样托盘,采样后可将采样托盘直接插入显微镜进行分析,无需样品前处理,减少分析费用。

此外,样品收集在小的集中点,分析时很容易定位在高浓度地方。并且可选择不同类型的基片材料用于各种显微技术,如:X射线荧光分析XRF、投射电镜TEM、傅里叶变换红外光谱FTIR、气相色谱/质谱(GC/MS)。

技术特征

Characteristic

MPS-4G1

SEM兼容,收集板可直接用于电镜扫描

浓缩样品,样品收集在0.01英寸的收集板上,利于电镜扫描

亚微米级颗粒物,可到0.05μm

粒径分离,四级撞击器,四个不同的粒径范围

高流量,7LPM,干净环境中采样4~6h

弹性系统,可拆卸组装、泵与撞击采样器可远距离操作

MPS-3

SEM电镜扫描,分析颗粒物粒径和形态

EDX能量色散X射线,分析元素组成

颗粒物无需后续处理,样品收集在光滑、导电的低X射线的采样盘上,可直接进行SEM和EDX分析

精确识别,不同理化性质的颗粒物分类收集,可分析单个颗粒物的性质

超细颗粒物(μm以下),0.05 ~ 0.3μm的颗粒物可在内部分离出来

便携,可多点采样或连续多点采样

粒径分隔,内部撞击设备可分离不同粒径颗粒物

内部三级撞击板,一级>2μm、二级0.3 ~2μm、三级0.05 ~ 0.3μm

直接转为SEM,收集板为直径0.5英寸导电石墨或纯碳晶片,固定在SEM固定器上,电镜中使用方便

 

产品应用

Application

MPS-4G1

半导体、制药、航空航天及其他高精密研究和制造无尘室颗粒物污染分析

电脑硬盘颗粒物采样(另需连接器)

过程设备颗粒物排放特性

颗粒物计数校准

MPS-3

判断来源和形成机制

半导体、制药、航空航天及其他高精密研究和制造无尘室颗粒物污染分析

滤膜过滤检测

电脑硬盘颗粒物采样

环境卫生和综合医疗

技术参数

Parameter

MPS-4G1

粒径分级(颗粒物密度2g/cm3

层级 D50
1 2.0μm
2 0.5μm
3 0.15μm
4 0.05μm

流速:

MPS-4G1 7LPM
MPS-4G1L 2.83LPM

收集板:碳晶板(特殊用途的其他材料可订购)

电源:120V 50/60Hz 70W

重量:撞击采样器1.8kg,泵组件6.4kg

尺寸见右图

MPS-3

颗粒物粒径范围

第1级 >2.0μm
第2级 0.3~2.0μm
第3级 0.05~0.3μm

流速:

MPS-3 2LPM
MPS-3L 0.25LPM

电源:220V 50Hz

重量:3.2kg

尺寸见右图

应用案例

Case

MPS-4G1

1.台湾电力公司使用MPS-4G1型显微分析颗粒物/气溶胶采样器采集核电站放射性气溶胶,并将采集到的样品用扫描电镜进行分析。

2.Chuan,Raymond L. and William Chiang,Cascade impactor Colects Airborne Samples for Particle Identification. Solid State Technology,July,1985

3.Chiang,William and Raymond L. Chuan, “The Cascade Impactor as a Particulate Chromatograph for Microanalysis of Aerosol Particles” Aerosols:Science,Technology,and Industruial Applications of Airborne Particles,Liu,Pui,and Fissan,eds.,Elaevier Science Publishing,New York,1984,99pp

4.R. Yokelson , S. Urbanski , E. Atlas, Emissions from forest fires near Mexico City, Atmospheric Chemistry and Physics Discussions 7, 3 (2007) 6687-6718

5.Jia Li,Miha´ly Po´sfai, Peter V. Hobbs, and Peter R. Buseck, Individual aerosol particles from biomass burning in southern Africa: 2, Compositions and aging of inorganic particles, JOURNAL OF GEOPHYSICAL RESEARCH, VOL. 108, NO. D13, 8484, doi:10.1029/2002JD002310, 2003

MPS-3

1.Chuan,Raymond L. and William Chiang,Cascade impactor Colects Airborne Samples for Particle Identification. Solid State Technology,July,1985

2.Chiang,William and Raymond L. Chuan, “The Cascade Impactor as a Particulate Chromatograph for Microanalysis of Aerosol Particles” Aerosols:Science,Technology,and Industruial Applications of Airborne Particles,Liu,Pui,and Fissan,eds.,Elaevier Science Publishing,New York,1984,99pp

3.R. Yokelson , S. Urbanski , E. Atlas, Emissions from forest fires near Mexico City, Atmospheric Chemistry and Physics Discussions 7, 3 (2007) 6687-6718

4.Jia Li,Miha´ly Po´sfai, Peter V. Hobbs, and Peter R. Buseck, Individual aerosol particles from biomass burning in southern Africa: 2, Compositions and aging of inorganic particles, JOURNAL OF GEOPHYSICAL RESEARCH, VOL. 108, NO. D13, 8484, doi:10.1029/2002JD002310, 2003